microanalyse nom féminin : 1. Analyse chimique portant sur des masses de substance extrêmement faibles, par convention de 0,1 à 5 mg.
2. Analyse localisée d'une surface métallique, sur environ un micromètre carré (1 μm2), à l'aide d'un faisceau d'électrons, d'ions ou de photons, dont la diffusion est analysée par spectrographie.
